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集成电路制造实训室
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    集成电路制造实训室配置了国际先进水平的集成电路制造设施,是综合国内外集成电路制造先进技术的实训鉴定平台;实训室适用于集成电路制造与封装多个职业不同等级,以及高等院校学生、企业中各相关专业中高层次技术人员的实训和鉴定。


    整个实训室由五个区域组成:
    1、风淋更衣室
    本区域是按照进入实训室相关人员洁净程度的要求而设立的。作为实训室(净化区域)的入口,实训人员必须先到专设的洗手处洗手后,再换上净化服,后经由风淋室进入实训室(净化区域)。风淋更衣室按照净化室的要求配备有服装柜、鞋柜、洁净服衣柜以及风淋室。


 

    2、集成电路前道制造区域
    本区域由一套从日本进口的教学用集成电路制造实训设备和一套从美国进口的生产用集成电路制造关键设备构成。
    教学用设备是目前日本许多大专院校都普遍采用的实训设备,包含了集成电路制造中需要的去离子水、氧化炉、扩散炉、溅射台、引线键合、测试设备以及一个具有完整工艺流程的光刻间;能够完成二极管、MOS管等各元器件从版图设计到制成的全部工艺,并提供学员完整的生产工艺流程概念,帮助学员理解各工种之间的相互联系,掌握集成电路工艺流程的关键技术。
    生产用关键设备从美国进口,包含了光刻机、涂胶机、氧化/扩散炉、刻蚀机、去胶机、溅射台、PECVD等生产设备以及椭圆偏振仪、CV测试仪等测试设备。这些设备基本含盖了集成电路制造的全过程,适用于光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、镀膜以及外围设备保障等职业中的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师四个等级的实训和鉴定,同时也适用于高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员的实训。


 

    3、集成电路后道封装区域
    本区域按照工艺流程配有美国和瑞士等具有国际先进水平的划片机、引线键合机、芯片键合机、塑封机、切筋打弯机等设备,可完成集成电路封装的全部工艺;适用于划片组装和封装成型等职业,以及高等院校的学生和相关专业人员的实训和鉴定。


 

    4、集成电路测试区域
    本区域配有国际上领先的日本“advantest”测试设备,该设备精度高、测试能力强,并可多管脚对应,在集成电路制造的版图设计到成品制成的各个阶段都可以使用;该区域既适用于集成电路前道各职业的测试部分和后道封装中的成品测试,也能够为中、高层次专业人员以及高等院校的大学生、研究生提供相关测试。


 

    5、多媒体模拟仿真室
    在实训考核中我们对国际流行工艺设备和仪器开发了模拟仿真软件和大量的多媒体辅助实训课件。它们具有互动性、真实性、可反复使用性的特点,便于学习和掌握。通过丰富的计算机模拟仿真手段,可实现集成电路制造设备动态操作的全过程。同时,多媒体辅助实训课件从多方位向学员演示相关工艺设备流程及规范操作,使其对所学内容有更直观的了解,调动了学员学习的主动性。

 

 

 

 

 

 

集成电路制造实训室配置了国际先进水平的集成电路制造设施,是综合国内外集成电路制造先进技术的实训鉴定平台;实训室适用于集成电路制造与封装多个职业不同等级,以及高等院校学生、企业中各相关专业中高层次技术人员的实训和鉴定。 整个实训室由五个区域组成: 1、风淋更衣室 本区域是按照进入实训室相关人员洁净程度的要求而设立的。作为实训室(净化区域)的入口,实训人员必须先到专设的洗手处洗手后,再换上净化服,后经由风淋室进入实训室(净化区域)。风淋更衣室按照净化室的要求配备有服装柜、鞋柜、洁净服衣柜以及风淋室。 2、集成电路前道制造区域 本区域由一套从日本进口的教学用集成电路制造实训设备和一套从美国进口的生产用集成电路制造关键设备构成。 教学用设备是目前日本许多大专院校都普遍采用的实训设备,包含了集成电路制造中需要的去离子水、氧化炉、扩散炉、溅射台、引线键合、测试设备以及一个具有完整工艺流程的光刻间;能够完成二极管、MOS管等各元器件从版图设计到制成的全部工艺,并提供学员完整的生产工艺流程概念,帮助学员理解各工种之间的相互联系,掌握集成电路工艺流程的关键技术。 生产用关键设备从美国进口,包含了光刻机、涂胶机、氧化/扩散炉、刻蚀机、去胶机、溅射台、PECVD等生产设备以及椭圆偏振仪、CV测试仪等测试设备。这些设备基本含盖了集成电路制造的全过程,适用于光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、镀膜以及外围设备保障等职业中的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师四个等级的实训和鉴定,同时也适用于高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员的实训。 3、集成电路后道封装区域 本区域按照工艺流程配有美国和瑞士等具有国际先进水平的划片机、引线键合机、芯片键合机、塑封机、切筋打弯机等设备,可完成集成电路封装的全部工艺;适用于划片组装和封装成型等职业,以及高等院校的学生和相关专业人员的实训和鉴定。 4、集成电路测试区域 本区域配有国际上领先的日本“advantest”测试设备,该设备精度高、测试能力强,并可多管脚对应,在集成电路制造的版图设计到成品制成的各个阶段都可以使用;该区域既适用于集成电路前道各职业的测试部分和后道封装中的成品测试,也能够为中、高层次专业人员以及高等院校的大学生、研究生提供相关测试。 5、多媒体模拟仿真室 在实训考核中我们对国际流行工艺设备和仪器开发了模拟仿真软件和大量的多媒体辅助实训课件。它们具有互动性、真实性、可反复使用性的特点,便于学习和掌握。通过丰富的计算机模拟仿真手段,可实现集成电路制造设备动态操作的全过程。同时,多媒体辅助实训课件从多方位向学员演示相关工艺设备流程及规范操作,使其对所学内容有更直观的了解,调动了学员学习的主动性。
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