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集成电路制造实训室
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    集成电路制造实训室从日本、美国和瑞士购置了具有国际先进水平的设施,是综合国内外集成电路制造先进技术的实训鉴定平台。该室提供集成电路制造与封装多个职业不同等级的实训鉴定,各职业的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师等不同等级,也适用高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员实训。

    该实训室共有五个区域:

    1、风淋更衣室

    进入更衣室的人首先必须到专设的洗手处洗手后,才能进入风淋更衣室。风淋更衣室是净化室的入口。按照净化室的要求配备有服装柜、鞋柜、洁净服衣柜以及风淋室。学员在此换上净化服后,经由风淋室进入净化室区域。

    2、集成电路前道制造区

    该区由一套从日本进口的教学用集成电路制造实训设备和一套从美国进口生产用关键设备构成,教学用设备是目前日本的许多大专院校都普遍采用的实训设备。它包含了集成电路制造中需要的去离子水、氧化炉、扩散炉、溅射台、引线键合、测试设备以及一个具有完整工艺流程的光刻间。可完成二极管、MOS管等各元器件从版图设计到制成的全部工艺,并提供学员完整的生产工艺流程概念并理解各工种之间的相互联系,使其掌握集成电路工艺流程的关键技术。

    生产用关键设备均为国际知名品牌,全套从美国进口,包括了光刻机、涂胶机、氧化/扩散炉、刻蚀机、去胶机、溅射台、PECVD等生产设备;椭圆偏振仪、CV测试仪等测试设备。这些设备几乎含盖了集成电路制造的全过程,其中每一台设备都是当前集成电路产业的主流设备。适用于光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、镀膜以及外围设备保障等六个职业中的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师四个等级的实训鉴定。也适用高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员。

    3、集成电路后道封装区

    该区按照工艺流程配置了美国和瑞士等具有国际先进水平的划片机、引线键合机、芯片键合机、塑封机、切筋打弯机,可完成集成电路封装的全部工艺。学员通过在这些设备上进行的专门实训后,可以直接到工厂里进行生产工作。适用划片组装和封装成型两个职业中的工艺员、高级工艺员两个等级。也适用高等院校的大学生、研究生提供实训操作与考核。

    4、集成电路测试区

    集成电路测试区采用的是国际上领先的日本“advantest”设备,可以测试几乎所有数字集成电路。该设备精度高、测试能力强,并可多管脚对应,在集成电路制造的版图设计到成品制成的各个阶段都可以使用,是集成电路制造工艺中不可或缺的设备。因此该区域既应用于集成电路前道各职业的测试部分,及后道封装中的成品测试工种提供实训与鉴定,也为中、高层次专业人员以及高等院校的大学生、研究生提供了自我检测的平台。

    5、多媒体模拟仿真室

    在实训考核中我们对国际流行工艺设备和仪器开发了模拟仿真软件和大量的多媒体辅助实训课件。它们具有互动性、真实性、可反复使用性的特点,便于学习和掌握。通过丰富的计算机模拟仿真手段,可实现集成电路制造设备动态操作的全过程。同时,多媒体辅助实训课件从多方位向学员演示相关工艺设备流程及规范操作,使其对所学内容有更直观的了解,调动了学员学习的主动性。另外,借助卫星通讯工具还可以实行远程培训功能,缩短了培训距离,扩大了培训面,使资源得到了充分利用。

集成电路制造实训室从日本、美国和瑞士购置了具有国际先进水平的设施,是综合国内外集成电路制造先进技术的实训鉴定平台。该室提供集成电路制造与封装多个职业不同等级的实训鉴定,各职业的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师等不同等级,也适用高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员实训。 该实训室共有五个区域: 1、风淋更衣室 进入更衣室的人首先必须到专设的洗手处洗手后,才能进入风淋更衣室。风淋更衣室是净化室的入口。按照净化室的要求配备有服装柜、鞋柜、洁净服衣柜以及风淋室。学员在此换上净化服后,经由风淋室进入净化室区域。 2、集成电路前道制造区 该区由一套从日本进口的教学用集成电路制造实训设备和一套从美国进口生产用关键设备构成,教学用设备是目前日本的许多大专院校都普遍采用的实训设备。它包含了集成电路制造中需要的去离子水、氧化炉、扩散炉、溅射台、引线键合、测试设备以及一个具有完整工艺流程的光刻间。可完成二极管、MOS管等各元器件从版图设计到制成的全部工艺,并提供学员完整的生产工艺流程概念并理解各工种之间的相互联系,使其掌握集成电路工艺流程的关键技术。 生产用关键设备均为国际知名品牌,全套从美国进口,包括了光刻机、涂胶机、氧化/扩散炉、刻蚀机、去胶机、溅射台、PECVD等生产设备;椭圆偏振仪、CV测试仪等测试设备。这些设备几乎含盖了集成电路制造的全过程,其中每一台设备都是当前集成电路产业的主流设备。适用于光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、镀膜以及外围设备保障等六个职业中的工艺员、高级工艺员、工艺师、高级工艺师四个等级的实训鉴定。也适用高等院校大学生、研究生以及企业中各相关专业的中、高层次技术人员。 3、集成电路后道封装区 该区按照工艺流程配置了美国和瑞士等具有国际先进水平的划片机、引线键合机、芯片键合机、塑封机、切筋打弯机,可完成集成电路封装的全部工艺。学员通过在这些设备上进行的专门实训后,可以直接到工厂里进行生产工作。适用划片组装和封装成型两个职业中的工艺员、高级工艺员两个等级。也适用高等院校的大学生、研究生提供实训操作与考核。 4、集成电路测试区 集成电路测试区采用的是国际上领先的日本“advantest”设备,可以测试几乎所有数字集成电路。该设备精度高、测试能力强,并可多管脚对应,在集成电路制造的版图设计到成品制成的各个阶段都可以使用,是集成电路制造工艺中不可或缺的设备。因此该区域既应用于集成电路前道各职业的测试部分,及后道封装中的成品测试工种提供实训与鉴定,也为中、高层次专业人员以及高等院校的大学生、研究生提供了自我检测的平台。 5、多媒体模拟仿真室 在实训考核中我们对国际流行工艺设备和仪器开发了模拟仿真软件和大量的多媒体辅助实训课件。它们具有互动性、真实性、可反复使用性的特点,便于学习和掌握。通过丰富的计算机模拟仿真手段,可实现集成电路制造设备动态操作的全过程。同时,多媒体辅助实训课件从多方位向学员演示相关工艺设备流程及规范操作,使其对所学内容有更直观的了解,调动了学员学习的主动性。另外,借助卫星通讯工具还可以实行远程培训功能,缩短了培训距离,扩大了培训面,使资源得到了充分利用。
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